日本製ジクロロシランにアンチダンピング

中国商務部は７日、日本製ジクロロシランにアンチダンピング調査を開始したと発表した。リストには信越化学、日本エアリキード、三菱ケミカルなどがある。中国で輸入を手掛ける企業例として、浙江西亜特電子材料（浙江省衢州市）、天津緑菱气体股份（天津市）、崇越貿易（上海浦東新区）、大陽日酸の現地法人である大陽日酸特殊气体（上海）の４社が挙げられている。９９％以上の高純度品が対象。今回のアンチダンピング調査の申請者である唐山三孚電子材料は１６年に設立。２０２１年１０月から本格的にジクロロシランの生産を開始、生産能力は５０万キログラムと公表されている。このほか中国国内の主なサプライヤーは洛陽中硅高科技（河南省洛陽市）、沁陽国順硅源光電气体（河南省焦作市）、安徽亜格盛電子新材料股份（安徽省蕪湖市）。８日から関税を８０．８から９９．２％とするとのこと。

ジクロロシランは半導体製造のSi酸化膜、Si窒化膜、エピタキシャル成長、SiC膜など広範囲に使用される。日本は超高純度ジクロロシランで世界の半分を握っている。

ただ関税を倍にしたとしても、支払うのは輸入業者であり、購入会社である。まあ品質が同じであれば中国品を買えばいいということであるが、中国産ガスや薬品の純度は一般的によくない。代替可能なものなのだろうか？

私は浙江西亜特電子材料の工場に行ったことがある。信越のジクロロシランがあった。品質管理に苦労しているようだった。ガスは超高純度でもその取扱いで容易に汚染する。それを製造からやるのは非常に大変だ。