石英純度の単位

長年日本で石英にかかわってきた私にとって、中国で使われている５Nとか６Nはなじみが薄い。石英の分析はフッ酸によって妨害元素である石英を揮発させて測定するので、石英の含有量を測っているものではない。したがって不純物量を差し引いた値となるのだが、ではすべての不純物元素量を測定するのかと言えばそうではない。どうも金属不純物元素のことを言うらしい。OHやCl、Cやガスなどは含まれていない。

「N」表記はSiO2の％を示すものである。４NはSiO2９９．９９％、５Nは９９．９９９％である。４Nの場合、総不純物量は０．０１％未満ということになる。また５N５は９９．９９９５％であり、総不純物量は０．０００５％（５ｐｐｍ）未満ということっだ。

とある中国人によると、電子グレードは５N２、５N５だそうだ。半導体グレードは５N５＋で総金属不純物量が＜０．５ｐｐｍで、ＯＨ＜０．５ｐｐｍだそうだ。つまり無水合成石英ということだ。

しかし、こういう考え方自体がなんか私には違和感があり、間違っているように思える。