合成石英インゴット

これは今量産中の合成シリカ粉のプラズマ溶融インゴットである。寸法は３２３φの３００H。金属不純物量は０．１ppm以下である。OHは２０ppm以下。もちろん無気泡である。用途は4nm以下のCVD.拡散部材である。粘度はCVD法合成石英インゴットより高い。これを現在使用されている合成石英インゴットの半値で販売している。

開発的にはフッ素ドープ合成シリカからプラズマ溶融し、エキシマステッパー用のレンズに展開していきたいと思っている。