合成石英ガラス

私は合成シリカ粉を溶融（焼結）したフュージョン石英ガラス（融合石英ガラス）を提唱しているが、今二種類の融合石英ガラスを製造している。一つはプラズマ溶融であり、もう一つは酸水素溶融である。酸水素溶融品は主にエッチャーパーツであり、プラズマ品はオールマイティである。下記は酸水素溶融で作ったものである。

目に見えないくらいの気泡が存在しているがエッチャーパーツには問題ない。OH含有用が３００ｐｐｍくらい含まれるが、成型時に発生する酸素欠乏により紫外透過率は良くない。韓国では違う成型法をやっており、無気泡化と無蛍光が可能である。

プラズマ溶融は低OHが製造できる。高粘度により半導体部材として有用である。無気泡であり、IRレンズとしても需要がある。

私としてはプラズマ溶融設備の増強により、月産１０トン程度のインゴットの製造を行いたいと考えている。